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JP2004115566A - ポリエステルフィルム - Google Patents
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【課題】高解像度DFRに使用し得る透明性、UV透過性を満足し、フォトレジスト層の上に保護フィルムを設ける工程を省略し、且つ産業廃棄物の軽減に寄与するドライフィルムフォトレジスト(DFR)、いわゆるカバーレスDFRを製造に適したポリエステルフィルムを提供する。
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